坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率影响

坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率影响

徐驰，王友军，束忠明，宋学富，王蕾

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武汉理工大学学报 ›› 2010, Vol. 32 ›› Issue (22) : 119-122.

材料科学与工程

坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率影响

{{article.zuoZhe_CN}}

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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2010, 32(22): 119-122

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{{article.reference}}

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{{article.copyrightLicense_cn}}

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