甲烷流量对类金刚石薄膜氢含量和性能的影响

甲烷流量对类金刚石薄膜氢含量和性能的影响

黄星烨，孙瑶，张保军，汪洪

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武汉理工大学学报 ›› 2013, Vol. 35 ›› Issue (5) : 8-12.

材料科学与工程

甲烷流量对类金刚石薄膜氢含量和性能的影响

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