沉积参数对ITO表面形貌及晶体结构的影响

沉积参数对ITO表面形貌及晶体结构的影响

邱阳，金杨利，祖成奎，赵华

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武汉理工大学学报 ›› 2012, Vol. 34 ›› Issue (10) : 5-8.

材料科学与工程

沉积参数对ITO表面形貌及晶体结构的影响

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