超精密隔振系统的建模与参数辨识

武汉理工大学学报 ›› 2011, Vol. 33 ›› Issue (1) : 125-129.

机电工程

超精密隔振系统的建模与参数辨识

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Modeling and Parameter Identification of the Ultraprecision Vibration Isolation System

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2011-01-31
Issue Date
2011-01-31