偏压对磁控溅射Cr-N薄膜组织及性能影响

偏压对磁控溅射Cr-N薄膜组织及性能影响

姚晓红，田林海，马永，唐宾

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武汉理工大学学报 ›› 2010, Vol. 32 ›› Issue (18) : 1-3.

材料科学与工程

偏压对磁控溅射Cr-N薄膜组织及性能影响

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