Pd/V<sub>2</sub>O<sub>5</sub>薄膜的氢气敏感性质研究

武汉理工大学学报 ›› 2010, Vol. 32 ›› Issue (11) : 6-8.

材料科学与工程

Pd/V₂O₅薄膜的氢气敏感性质研究

余海湖1，史勇２，吴银伟２，黄金山２

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摘要

采用磁控溅射法制备了不同厚度的Pd/V2O5双层复合薄膜，采用紫外可见光分光光度
计研究了薄膜的氢气敏感性质，原位测量了薄膜的激光拉曼光谱并分析了薄膜的氢气敏
感机理。结果表明，复合薄膜V2O5（280 nm）/Pd（30 nm）对氢气的敏感性质较好，
对0.01% H2N2有响应，在4% H2N2标气中，在560 nm处透过率的相对变化值达
到25％。拉曼光谱分析结果表明，Pd/V2O5薄膜在与氢气作用过程中，Pd膜主要起催化
作用，氢原子扩散到V2O5层，V5+转变为V4+，导致Pd/V2O5薄膜的透
过率发生变化。