利用准分子激光微加工系统制备光子晶体线路

利用准分子激光微加工系统制备光子晶体线路

胡芳林，韩永昊

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武汉理工大学学报 ›› 2009, Vol. 31 ›› Issue (9) : 32-34.

材料科学与工程

利用准分子激光微加工系统制备光子晶体线路

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