硅/微晶玻璃阳极键合工艺对键合强度的影响

硅/微晶玻璃阳极键合工艺对键合强度的影响

章钊，李宏，杜芸，程金树

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武汉理工大学学报 ›› 2009, Vol. 31 ›› Issue (24) : 5-8.

材料科学与工程

硅/微晶玻璃阳极键合工艺对键合强度的影响

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