应用FIB技术直写SOI光子晶体的研究

胡文彬，Wico Hopman,Rene de Ridder

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武汉理工大学学报
武汉理工大学学报 ›› 2009, Vol. 31 ›› Issue (2) : 73-76.
材料科学与工程

应用FIB技术直写SOI光子晶体的研究

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