偏置电压对电容式微机械加速度计的影响研究

偏置电压对电容式微机械加速度计的影响研究

胡雪梅，马林，郭素娜，马瑛

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武汉理工大学学报 ›› 2009, Vol. 31 ›› Issue (15) : 95-97.

机电、信息与计算机

偏置电压对电容式微机械加速度计的影响研究

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