1.6 GHz薄膜体声波谐振器研究

武汉理工大学学报 ›› 2009, Vol. 31 ›› Issue (13) : 22-25.

材料科学与工程

1.6 GHz薄膜体声波谐振器研究

胡靖华1，孙晓冬1，张凯2，张小玲1，胡光2，顾豪爽2

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摘要

AlN材料具有良好的压电特性和很高的声波速度，是制作性能优良薄膜体声波器件的首选材
料之一。对氮化铝薄膜体声波谐振器原理进行了分析，探讨了氮化铝薄膜体声波谐振器的设
计方法，在制备高c轴取向氮化铝薄膜的基础上，通过上电极和氮化铝薄膜一次光刻
两步刻蚀工艺方法制作了1.6 GHz氮化铝薄膜体声波谐振器，并探讨了谐振器的频率影响因
素。