磁控溅射氮化铝薄膜取向生长工艺研究

张小玲，孙晓冬，张凯，胡光，胡靖华，顾豪爽

PDF(1392 KB)
RSS服务E-mail Alert
武汉理工大学学报
武汉理工大学学报 ›› 2009, Vol. 31 ›› Issue (12) : 47-50.
材料科学与工程

磁控溅射氮化铝薄膜取向生长工艺研究

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
作者信息 +
History +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用
{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2009, 31(12): 47-50

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

{{article.reference}}

基金

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
PDF(1392 KB)

Accesses

Citation

Detail
段落导航
相关文章
鄂ICP备10013895号
版权所有 © 《武汉理工大学学报》编辑部
地址：武汉市武昌珞狮路122号武汉理工大学（东院思源楼4楼）学报编辑部　邮编：430070
电话：027-87730582　E-mail：whlgdxxb@whut.edu.cn
本系统由北京玛格泰克科技发展有限公司设计开发

/

〈 〉