AlN薄膜的制备与绝缘性能研究

AlN薄膜的制备与绝缘性能研究

胡利民

PDF(906 KB)

武汉理工大学学报 ›› 2008, Vol. 30 ›› Issue (1) : 17-20.

材料科学与工程

AlN薄膜的制备与绝缘性能研究

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 +

History +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

引用本文

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2008, 30(1): 17-20

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

{{article.reference}}

基金

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}

{{article.copyrightLicense_cn}}

PDF(906 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

相关文章

/

〈

〉