BN-303光刻胶前烘工艺对MEMS三维结构的影响

BN-303光刻胶前烘工艺对MEMS三维结构的影响

蒋玉荣

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武汉理工大学学报 ›› 2007, Vol. 29 ›› Issue (5) : 5-8.

A.材料科学与工程

BN-303光刻胶前烘工艺对MEMS三维结构的影响

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