直流溅射ZnO导电靶制备ZnO:Al透明导电薄膜

直流溅射ZnO导电靶制备ZnO:Al透明导电薄膜

方斌

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武汉理工大学学报 ›› 2007, Vol. 29 ›› Issue (4) : 52-54.

材料科学与工程

直流溅射ZnO导电靶制备ZnO:Al透明导电薄膜

{{article.zuoZhe_CN}}

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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2007, 29(4): 52-54

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{{article.reference}}

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{{article.copyrightLicense_cn}}

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