射频磁控溅射SiO_2薄膜的制备与性能研究

射频磁控溅射SiO_2薄膜的制备与性能研究

金桂

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武汉理工大学学报 ›› 2006, Vol. 28 ›› Issue (8) : 12-15.

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射频磁控溅射SiO_2薄膜的制备与性能研究

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