溅射气压对Ba_(2-x)TiSi_(2+y)O_8铁电薄膜微观结构的影响

刘立英

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武汉理工大学学报 ›› 2005, Vol. 27 ›› Issue (7) : 1-3.
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溅射气压对Ba_(2-x)TiSi_(2+y)O_8铁电薄膜微观结构的影响

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