XPS研究大气环境下热处理温度对玻璃基TiN薄膜组成与结构的影响

赵青南

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武汉理工大学学报
武汉理工大学学报 ›› 2001, Vol. 23 ›› Issue (1) : 12-15.
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XPS研究大气环境下热处理温度对玻璃基TiN薄膜组成与结构的影响

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