铝离子掺量对TiN薄膜光学性能的影响

赵青南

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武汉理工大学学报
武汉理工大学学报 ›› 2000, Vol. 22 ›› Issue (6) : 18-20.
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铝离子掺量对TiN薄膜光学性能的影响

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