测量微米级薄膜厚度与弹性模量的一种新方法

测量微米级薄膜厚度与弹性模量的一种新方法

李伟

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武汉理工大学学报 ›› 1999, Vol. 21 ›› Issue (5) : 56-58.

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测量微米级薄膜厚度与弹性模量的一种新方法

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